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集成電路工藝原理名詞解釋每日一練(2019.12.16)

  • 名詞解釋

    水汽氧化

    答案：

    高溫下，硅片與高純水蒸氣反應(yīng)生成SiO2的過程。

  • 名詞解釋

    通孔

    答案：

    是指穿過各種介質(zhì)從某一金屬到毗鄰的另一金屬層形成電通路的開口。

  • 名詞解釋

    互連意

    答案：

    指由導(dǎo)電材料，如鋁、多晶硅或銅制的連線將電信號(hào)傳輸?shù)叫酒牟煌糠?。也被用做芯片上器件和整個(gè)封裝之間普通的金屬連接。

  • 名詞解釋

    同質(zhì)外延

    答案：

    外延層與沉底的材料相同。

  • 名詞解釋

    臨界曝光量

    答案：

    使角膜開始溶解所需最小曝光量。