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【簡答題】簡述光刻膠的概念及目的
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概念:一種有機化合物,受紫外光曝光后,在顯影液中的溶解度會發(fā)生變化
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(1)將掩模版圖案轉(zhuǎn)移到...
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優(yōu)點:精確控制雜質(zhì)含量、很好的雜質(zhì)均勻性、對雜質(zhì)穿透深度有很好的控制、產(chǎn)生單一離子束、低溫工藝、注入的離子能穿過薄膜、無...
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