問答題

【簡答題】什么叫集成電路？寫出集成電路發(fā)展的五個時代及晶體管的數(shù)量？

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【論述題】應力分為壓應力和張應力，下圖的形狀是由于哪種應力產(chǎn)生的？請在圖上標出應力的方向。如果要讓上面的結構材料變得平整，要怎么做？
答案： 張應力（張的時候產(chǎn)生的應力）與壓應力（壓的時候產(chǎn)生的應力）
在張應力作用下，薄膜會相對襯底進行...
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【論述題】在MEMS加工中，為了精確控制腐蝕深度，有哪幾種腐蝕停止技術，分別說一下其腐蝕停止原理。
答案： 腐蝕停止目的：為了精確控制腐蝕深度.P++腐蝕停止技術（形成重摻雜B層）：Si的濕法腐蝕速率在B摻雜濃度<1×10
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