填空題

電火花加工粗加工時工件常接（）極，精加工時工件常接（）極；線切割加工時工件接正極；電極加工時工件接（）極；電解磨削時工件接正極；電刻度時工件接（）極。

答案： 負；正；正；負
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超精密加工機床的關鍵部件有：（）、（）和（）等。
答案： 精密主軸部件；導軌部件；進給驅動系統(tǒng)
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超精密加工機床的總體布局形式主要有以下幾種：（）、（）、（）、（）等。
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