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在超精密磨削時,如工件材料為硬質合金,則需選用超硬磨料砂輪。
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階梯行變幅桿振幅放大倍數最高,但受負載阻力時振幅衰減嚴重,且容易產生應力集中。
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由于離子的質量遠大于電子,故離子束加工的生產率比離子束高,但表年粗糙度稍差。
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