下圖為超精密機(jī)床上彈性變形式微量進(jìn)給機(jī)構(gòu),簡(jiǎn)述它的工作原理。
超精密加工的主要相關(guān)技術(shù):精密加工機(jī)床;金剛石刀具;精密切削機(jī)理;穩(wěn)定的加工環(huán)境;誤差補(bǔ)償技術(shù);精密測(cè)量技術(shù)。