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硅平面工藝中高溫氧化生成的非本征無定性二氧化硅對()、()、砷(As)、銻(Sb)等元素具有()作用。
答案:
硼;磷;掩蔽
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熱氧化制備SiO
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的方法可分為四種,包括()、()、()、()。
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填空題
常規(guī)的硅材料拋光方式有:()拋光,()拋光,()拋光等。
答案:
機械;化學;機械化學
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