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硅熱氧化形成SiO
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體積將增加約1倍。
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SiO
2
作為擴(kuò)散掩蔽膜需要滿(mǎn)足一定的厚度要求。
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判斷題
SiO
2
中5價(jià)的網(wǎng)絡(luò)形成者可使結(jié)構(gòu)強(qiáng)度增加,而3價(jià)的網(wǎng)絡(luò)形成者可使結(jié)構(gòu)強(qiáng)度減小。
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