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【簡答題】簡述化學氣相沉積法的五個基本步驟
答案:
A.反應物已擴散通過界面邊界層;
B.反應物吸附在基片的表面;
C.化學沉積反應發(fā)生;
D...
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答案:
化學氣相沉積是把含有構成薄膜元素的氣態(tài)反應劑的蒸汽及反應所需其它氣體引入反應室,在襯底表面發(fā)生化學反應,并把固體產物沉積...
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