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【簡答題】簡述濺射鍍膜的特征
答案:
(1)濺射出來的粒子角分布取決于入射粒子的方向.
(2)從單晶靶濺射出來的粒子顯示擇優(yōu)取向.
(3)...
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【簡答題】氣相法可分為哪些?
答案:
(1)物理氣相沉積,用物理凝聚的方法將多晶原料經過氣相轉化為單晶體,如升華-凝結法、分子束外延法和陰極濺射法;
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