問答題

【簡答題】濺射與蒸發(fā)的異同點是什么？

答案：

同：在真空中進(jìn)行。
異：蒸發(fā)制膜是將材料加熱汽化。濺射制膜是用離子轟擊靶材，將其原子打出。
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問答題

【簡答題】固相—固相平衡的晶體生長的優(yōu)缺點是什么？
答案：

優(yōu)點：生長溫度低；晶體形狀可預(yù)先固定。
缺點：難以控制成核以形成大晶粒。
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