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【簡答題】簡述摻氯氧化工藝。
答案:
在氧化工藝中,通常在氧化系統(tǒng)中通入少量的HCl氣體(濃度在3%以下)以改善SiO
2
–S...
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【簡答題】在實際的SiO
2
–Si系統(tǒng)中,存在幾種電荷?
答案:
①可動電荷: 指Na
+
、K
+
離子,來源于工藝中的化學試劑、器皿和各...
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【簡答題】簡述硅熱氧化過程中有哪些階段?
答案:
第一階段:反應(yīng)速度決定氧化速度,主要因為氧分子、水分子充足,硅原子不足。
第二階段:擴散速度決定氧化速度,主要...
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