問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述離子注入工藝相對(duì)于熱擴(kuò)散工藝的優(yōu)缺點(diǎn)。

答案: 優(yōu)點(diǎn):①精確地控制摻雜濃度和摻雜深度;
②可以獲得任意的雜質(zhì)濃度分布;
③雜質(zhì)濃度均勻性、重復(fù)性好;...
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名詞解釋

結(jié)深

答案: 雜質(zhì)擴(kuò)散濃度分布曲線與襯底摻雜濃度曲線交點(diǎn)的位置稱為結(jié)深。
問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】

說(shuō)明擴(kuò)散雜質(zhì)的高斯分布特點(diǎn)(有限源擴(kuò)散屬于此分布)

答案:

①在整個(gè)擴(kuò)散過(guò)程中,雜質(zhì)總量保持不變;
②擴(kuò)散時(shí)間越長(zhǎng),擴(kuò)散溫度越高,則雜質(zhì)擴(kuò)散得越深,表面濃度越低;
③表面雜質(zhì)濃度可控。

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