說(shuō)明擴(kuò)散雜質(zhì)的高斯分布特點(diǎn)(有限源擴(kuò)散屬于此分布)
①在整個(gè)擴(kuò)散過(guò)程中,雜質(zhì)總量保持不變; ②擴(kuò)散時(shí)間越長(zhǎng),擴(kuò)散溫度越高,則雜質(zhì)擴(kuò)散得越深,表面濃度越低; ③表面雜質(zhì)濃度可控。