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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述離子注入工藝相對(duì)于熱擴(kuò)散工藝的優(yōu)缺點(diǎn)。
答案：
優(yōu)點(diǎn)：①精確地控制摻雜濃度和摻雜深度；
②可以獲得任意的雜質(zhì)濃度分布；
③雜質(zhì)濃度均勻性、重復(fù)性好；...
②可以獲得任意的雜質(zhì)濃度分布；
③雜質(zhì)濃度均勻性、重復(fù)性好；...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】
說(shuō)明擴(kuò)散雜質(zhì)的高斯分布特點(diǎn)（有限源擴(kuò)散屬于此分布）
答案：
①在整個(gè)擴(kuò)散過(guò)程中，雜質(zhì)總量保持不變；
②擴(kuò)散時(shí)間越長(zhǎng)，擴(kuò)散溫度越高，則雜質(zhì)擴(kuò)散得越深，表面濃度越低；
③表面雜質(zhì)濃度可控。
