問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】寫出數(shù)值孔徑（NA）公式。

答案：

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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述正膠和負(fù)膠區(qū)別。
答案：

正膠：曝光的部分易溶解，占主導(dǎo)地位；
負(fù)膠：曝光的部分不易溶解。負(fù)膠的粘附性和抗刻蝕性能好，但分辨率低。
問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述什么是光刻膠、光刻膠的用途、光刻對(duì)光刻膠的要求。
答案： 光刻膠是一種有機(jī)化合物，它受紫外線曝光后在顯影液中的溶解度發(fā)生顯著變化，而未曝光的部分在顯影液中幾乎不溶解。
光...
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