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【簡答題】簡述利用CCD進(jìn)行工件尺寸測量的原理及測量系統(tǒng)的組成。
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電荷藕合器件有線陣電荷耦合器件和面陣電荷耦合器件。它由MOS光敏單元和讀出移位寄存器組成。
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