問答題

【簡答題】什么是芯片的關(guān)鍵尺寸?這種尺寸為何重要?自半導(dǎo)體制造業(yè)開始以來,芯片的關(guān)鍵尺寸是如何變化的?他對芯片上其他特征尺寸的影響是什么?

答案:芯片上器件的物理尺寸被稱為特征尺寸;芯片上的最小的特征尺寸被稱為關(guān)鍵尺寸,且被作為定義制造工藝水平的標(biāo)準(zhǔn)。
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