多項選擇題

材料蒸發(fā)時，充氧的主要目的有哪些？（）

A、補充材料失去的氧原子，使材料氧化更充分，降低膜層吸收
B、使每次鍍膜時，真空室內(nèi)的真空狀態(tài)相接近
C、使蒸發(fā)更穩(wěn)定
D、使控制更精確

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