A、去除材料內(nèi)部的雜質(zhì) B、改變材料的表面形狀 C、減少材料的放氣 D、提高材料的溫度
A、氣體分子平均自由程小于蒸發(fā)距離. B、氣體分子平均自由程遠(yuǎn)大于蒸發(fā)距離 C、氣體分子平均自由程等于蒸發(fā)距離。 D、氣體分子平均自由程的平方大于蒸發(fā)距離。
A.防止擴(kuò)散油分子回流到真空室 B.加快排氣速度 C.防止雜物掉入擴(kuò)散泵 D.提高膜層附著力