A、提高離子源功率 B、降低溫度 C、降低真空度 D、提高溫度
A、電子槍高壓線路故障 B、真空室底下門沒有關(guān)好 C、電子槍燈絲有問題 D、電子槍電流回路故障
A、低真空 B、中真空 C、高真空 D、超高真空