多項選擇題

提高膜層聚集密度工藝有（）。

A、提高離子源功率
B、降低溫度
C、降低真空度
D、提高溫度

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單項選擇題

電子槍“FIL”燈變紅，故障原因是（）。

A、電子槍高壓線路故障
B、真空室底下門沒有關(guān)好
C、電子槍燈絲有問題
D、電子槍電流回路故障

單項選擇題

真空鍍膜時真空度范圍應(yīng)在（）。

A、低真空
B、中真空
C、高真空
D、超高真空

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