問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】例舉在線參數(shù)測(cè)試的4個(gè)主要子系統(tǒng)。

答案： 在線參數(shù)測(cè)試的4個(gè)主要子系統(tǒng)為：
（1）探針卡接口：是自動(dòng)測(cè)試儀與待測(cè)器件之間的接口。
（2）硅片定...
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答案： 當(dāng)真空里的壓強(qiáng)減低時(shí)，氣體分子間的空間加大了，這成為氣體流過(guò)系統(tǒng)及在工藝腔內(nèi)產(chǎn)生等離子體的重要因素。而初級(jí)泵可以去除腔內(nèi)...
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