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【簡(jiǎn)答題】在硅片制造中光刻膠的兩種目的是什么?
答案:
一,將掩膜版圖案轉(zhuǎn)移到硅片表面頂層的光刻膠中
二,在后續(xù)工藝中,保護(hù)下面的材料
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答案:
第一步:氣相成底膜處理,其目的是增強(qiáng)硅片和光刻膠之間的粘附性。
第二步:旋轉(zhuǎn)涂膠,將硅片被固定在載片臺(tái)上,一定...
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答案:
暗場(chǎng)掩膜版是指一個(gè)掩膜版,它的石英版上大部分被鉻覆蓋,并且不透光。
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