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問(wèn)答題
【論述題】簡(jiǎn)述RTP在集成電路制造中的常見(jiàn)應(yīng)用。
答案：
1）雜質(zhì)的快速熱激活RTP工藝最具吸引力的的熱點(diǎn)之一是晶圓片不用達(dá)到熱平衡狀態(tài)，意味著電活性的有效摻雜實(shí)際上可以超過(guò)固溶...
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問(wèn)答題
【論述題】簡(jiǎn)述RTP設(shè)備的工作原理，相對(duì)于傳統(tǒng)高溫爐管它有什么優(yōu)勢(shì)？
答案：
RTP工藝是一類(lèi)單片熱處理工藝，其目的是通過(guò)縮短熱處理時(shí)間和溫度或只縮短熱處理時(shí)間來(lái)獲得最小的工藝熱預(yù)算（Thermal...
問(wèn)答題
【論述題】
簡(jiǎn)述硼和磷的退火特性。
答案：
硼退火特性電激活比例：自由載流子數(shù)p和注入劑量Ns的比對(duì)于低劑量的情況，隨退火溫度上升，電激活比例增大。對(duì)于高劑量情況，...
