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單項選擇題

在將清洗完的硅片放進擴散爐擴散時，需要將硅片先裝入（），然后再裝入擴散爐。

A.耐熱陶瓷器皿
B.金屬器皿
C.石英舟
D.玻璃器皿

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單項選擇題

通常熱擴散分為兩個大步驟，其中第一個步驟是（）。

A.再分布
B.等表面濃度擴散
C.預(yù)淀積
D.等總摻雜劑量擴散

單項選擇題

下列哪些元素在硅中是快擴散元素：（）。

A.Na
B.B
C.P
D.As

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