多項選擇題

有關光刻膠的顯影下列說法錯誤的是()。

A.負膠受顯影液的影響比較小
B.正膠受顯影液的影響比較小
C.正膠的曝光區(qū)將會膨脹變形
D.使用負膠可以得到更高的分辨率
E.負膠的曝光區(qū)將會膨脹變形

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