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多項選擇題
哪種方法可以增加缺陷的積累率而降低臨界注入量:()。
A.低溫注入
B.常溫注入
C.高溫注入
D.分子注入
E.雙注入
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多項選擇題
下列哪些因素會影響臨界注入量的大?。海ǎ?。
A.注入離子的質量
B.靶的種類
C.注入溫度
D.注入速度
E.注入劑量
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單項選擇題
當注入劑量增加到某個值時,損傷量不再增加,趨于飽和。飽和正是對應連續(xù)()的形成。
A.非晶層
B.單晶層
C.多晶層
D.超晶層
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