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離子源的基本結構是由產生高密度等離子體的()和引出部分組成。
A.電極
B.分析器
C.加速器
D.腔體
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單項選擇題
在磁分析器中常用()分析磁鐵。
A.柱形
B.扇形
C.方形
D.圓形
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單項選擇題
為了解決中性束對注入均勻性的影響,可在系統(tǒng)中設有(),使離子束偏轉后再達到靶室。
A.磁分析器
B.正交電磁場分析器
C.靜電偏轉電極
D.束流分析儀
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