多項(xiàng)選擇題

薄膜沉積的機(jī)構(gòu)包括那些步驟（）。

A.形成晶核
B.晶粒成長(zhǎng)
C.晶粒凝結(jié)
D.縫道填補(bǔ)
E.沉積膜成長(zhǎng)

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