單項選擇題

以下哪個不屬于等離子體利用氣-固相反應發(fā)生的應用？（）

A.等離子體刻蝕
B.等離子體檢測
C.等離子體化學氣相沉積
D.濺射成膜

微信掃碼免費搜題