A.電子束曝光技術 B.離子束曝光技術 C.X射線曝光技術
A.體刻蝕加工對基體材料進行加工,而面刻蝕加工不對襯底材料進行加工 B.體刻蝕加工不對基體材料進行加工,而面刻蝕加工對襯底材料進行加工 C.體刻蝕加工可獲得高縱橫比的結構,而面刻蝕加工只能獲得較低縱橫比的結構
A.①氧化②沉積③曝光④顯影⑤還原⑦清洗 B.①氧化②涂膠③曝光④顯影⑤去膠⑦擴散 C.①氧化②涂膠③曝光④顯影⑤去膠⑦還原