問答題

【論述題】論述離子鍍膜技術(shù)的原理,并加以圖示。

答案: 離子鍍膜技術(shù)是60年代發(fā)展起來的一種鍍膜方法,它是真空蒸發(fā)與濺射相結(jié)合的新工藝,即利用真空蒸發(fā)來作薄膜,用濺射作用來清潔...
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問答題

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(3)多晶硅薄膜;
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