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問答題
【簡答題】解釋擴(kuò)散系數(shù)及其物理含義，并說明影響擴(kuò)散系數(shù)的主要因素是什么，及如何影響？
答案：
雜質(zhì)的擴(kuò)散流密度與雜質(zhì)的濃度梯度成正比，將二者之間的比例系數(shù)定義為雜質(zhì)在基體材料中的擴(kuò)散系數(shù)，其單位為cm2<...
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問答題
【簡答題】說明雜質(zhì)在晶圓中的擴(kuò)散機(jī)制及主要特點，并各舉一例。
答案：
間隙式雜質(zhì)從一個間隙到另一個間隙的運動是通過原子間的縫隙進(jìn)行的，這種依靠間隙方式而逐步跳躍前進(jìn)的擴(kuò)散稱為間隙式擴(kuò)散（In...
問答題
【簡答題】什么是擴(kuò)散？并說明擴(kuò)散的兩個基本條件？按材料的形態(tài)劃分，擴(kuò)散有那幾種基本形式？工藝中的高溫擴(kuò)散屬于哪一種？
答案：
擴(kuò)散，是一種材料通過另一種材料的運動。
擴(kuò)散的兩個必要條件：濃度差，過程所需要的能量。
固態(tài)，液態(tài)，氣態(tài)擴(kuò)散。
屬于固態(tài)擴(kuò)散。
