- 搜標(biāo)題
- 搜題干
- 搜選項(xiàng)
填空題
如果淀積的膜在臺(tái)階上過(guò)度地變薄，就容易導(dǎo)致高的（）、（）或者在器件中產(chǎn)生不希望的（）。
答案：
膜應(yīng)力；電短路；誘生電荷
你可能感興趣的試題
填空題
縮略語(yǔ)PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名稱(chēng)分別是（）、（）、高密度等離子體化學(xué)氣相淀積和（）。
答案：
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積；低壓化學(xué)氣相淀積；常壓化學(xué)氣相淀積
