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判斷題

芯片上的物理尺寸特征被稱為關(guān)鍵尺寸，即CD。

答案：正確

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對(duì)正性光刻來(lái)說(shuō)，剩余不可溶解的光刻膠是掩膜版圖案的準(zhǔn)確復(fù)制。

答案：正確

曝光后烘焙，簡(jiǎn)稱后烘，其對(duì)傳統(tǒng)I線光刻膠是必需的。

答案：正確

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