名詞解釋

保形覆蓋

答案：

保形覆蓋是指無(wú)論襯底表面有什么樣的傾斜圖形在所有圖形的上面都能沉積有相同厚度的薄膜。
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名詞解釋

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恒定表面源擴(kuò)散
答案：

在整個(gè)擴(kuò)散過(guò)程中，雜質(zhì)不斷進(jìn)入硅中，而表面雜質(zhì)濃度始終保持不變。
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