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單項選擇題

顯影后，被曝光區(qū)域的光刻膠被去除，該種光刻膠稱為（）。

A.負(fù)膠
B.正膠
C.光刻抗蝕劑
D.光阻

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單項選擇題

MOS晶體管的源區(qū)、漏區(qū)及源、漏之間的溝道區(qū)域通常稱為（）。

A.有源區(qū)
B.場區(qū)
C.襯底區(qū)
D.阱區(qū)

單項選擇題

氧化層中摻雜了硼雜質(zhì)，一般稱為（）。

A.PSG
B.BPSG
C.BSG
D.FSG

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