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問答題
【簡答題】氧化工藝產(chǎn)生的SiO
2
為何種類型?并說明其結(jié)構(gòu)對其強度和密度的影響。
答案:
半導(dǎo)體工藝中用熱氧化法生長的SiO
2
是典型的無定形SiO
2
。無定形SiO
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【簡答題】試說明按結(jié)構(gòu)分類的二氧化硅的基本類型且各舉一例,并說明各種類型的主要結(jié)構(gòu)特點。
答案:
按SiO
2
的Si-O四面體單元的排列特點將其分為:結(jié)晶形SiO
2
和無定形Si...
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答案:
作用:硅原子位于四面體中心,四個氧原子分別位于四面體的四個頂角上,每四個氧原子共價鍵合到一個硅原子,滿足了硅原子的化合價...
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