A.超精密加工機理與工藝方法 B.超精密加工機床設備 C.超精密加工工具 D.測量補償 E.誤差補償
A.0.01-10 B.0.1-100 C.1-1000 D.10-10000
A.2.5 B.1.5 C.1.0 D.0.5