多項選擇題

實現(xiàn)超精密加工的技術支撐條件主要包括：（）、高質量的工件材料、超穩(wěn)定的加工環(huán)境條件等。

A.超精密加工機理與工藝方法
B.超精密加工機床設備
C.超精密加工工具
D.測量補償
E.誤差補償

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