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【簡答題】什么是駐波效應?如何減小駐波效應
答案:
駐波效應:當曝光的光纖從光刻膠與襯底的界面反射時,會與入射的曝光光線產生干涉,會使曝光過度和不足的區(qū)域形成條紋狀結構。<...
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【簡答題】解釋硬烘烤的目的。光刻膠硬烘烤過度和不足會產生什么問題?
答案:
目的:除去光刻膠內的殘余溶劑、增加光刻膠的強度,并通過進一步的聚合作用改進光刻膠的刻蝕與離子注入的抵抗力。增強了光刻膠的...
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【簡答題】解釋曝光后烘烤的目的。PEB(曝光后烘烤)烘烤過度和不足會產生什么問題?
答案:
目的:降低駐波效應
不足:無法消除駐波效應,影響分辨率。
過度:造成光刻膠的聚合作用,影響顯影過程,導致圖形轉移失敗。
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