問答題

【簡答題】什么是駐波效應？如何減小駐波效應

答案： 駐波效應：當曝光的光纖從光刻膠與襯底的界面反射時，會與入射的曝光光線產生干涉，會使曝光過度和不足的區(qū)域形成條紋狀結構。<...
題目列表

你可能感興趣的試題

問答題

【簡答題】解釋硬烘烤的目的。光刻膠硬烘烤過度和不足會產生什么問題？
答案： 目的：除去光刻膠內的殘余溶劑、增加光刻膠的強度，并通過進一步的聚合作用改進光刻膠的刻蝕與離子注入的抵抗力。增強了光刻膠的...
問答題

【簡答題】解釋曝光后烘烤的目的。PEB（曝光后烘烤）烘烤過度和不足會產生什么問題？
答案：

目的：降低駐波效應
不足：無法消除駐波效應，影響分辨率。
過度：造成光刻膠的聚合作用，影響顯影過程，導致圖形轉移失敗。
微信掃碼免費搜題