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問答題
【簡答題】分析微系統(tǒng)的基本特征和關(guān)鍵技術(shù)。
答案：
特征：體積小，重量輕，耗能低，性能穩(wěn)定，有利于大量生產(chǎn)，降低生產(chǎn)成本，慣性小，諧振頻率高響應(yīng)時間短，集約高技術(shù)成果，附加...
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問答題
【簡答題】簡述離子束加工技術(shù)的原理與應(yīng)用
答案：
在真空條件下把氬氪氙等惰性氣體通過離子源產(chǎn)生離子束經(jīng)過加速，集束和聚焦后，投射到工件表面的加工部位進行加工。
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