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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】何謂Hot carrier effect (熱載流子效應(yīng))?
答案：
在線寛小于0.5um以下時(shí), 因?yàn)樵?漏極間的高濃度所產(chǎn)生的高電場(chǎng),導(dǎo)致載流子在移動(dòng)時(shí)被加速產(chǎn)生熱載子效應(yīng), 此熱載子效...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】源/漏極(source/drain)的形成步驟可分為那些?
答案：
①LDD的離子注入（Implant）；
②Spacer的形成；
③N+/P+IMP高濃度源/漏極（S/D...
②Spacer的形成；
③N+/P+IMP高濃度源/漏極（S/D...
