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問答題
【簡(jiǎn)答題】為何在離子注入后， 需要熱處理（ Thermal Anneal）的工藝？
答案：
①為恢復(fù)經(jīng)離子注入后造成的芯片表面損傷；
②使注入離子擴(kuò)散至適當(dāng)?shù)纳疃龋?br />
③使注入離子移動(dòng)到適當(dāng)?shù)木Ц裎恢谩?/p>
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問答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述Spacer的主要功能？
答案：
①使高濃度的源/漏極與柵極間產(chǎn)生一段LDD區(qū)域；
②作為Contact Etch時(shí)柵極的保護(hù)層。
問答題
【簡(jiǎn)答題】何謂Spacer? Spacer蝕刻時(shí)要注意哪些地方？
答案：
在柵極(Poly)的兩旁用dielectric（介電質(zhì)）形成的側(cè)壁，主要由Ox/SiN/Ox組成。蝕刻spacer 時(shí)要...
