問答題

【簡答題】什么是CVD中的氣缺現(xiàn)象?解決氣缺現(xiàn)象的措施?

答案: 1)氣缺現(xiàn)象:一個入氣口的反應室,沿氣流方向反應劑不斷消耗,濃度降低,因此膜厚不均。當氣體反應劑被消耗而出現(xiàn)的反應劑濃度...
題目列表

你可能感興趣的試題

問答題

【簡答題】

簡述臺階覆蓋與接觸孔口。

答案: 準直濺射技術是在高真空濺射時,在襯底正上方插入一塊有高縱橫比孔的平板,稱為準直器。濺射原子的平均自由程足夠長,則在準直器...
問答題

【簡答題】熱蒸發(fā)制備薄膜的過程有哪些?

答案:

準備→抽真空→預蒸→蒸發(fā)→取片

微信掃碼免費搜題