問答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述光學(xué)光刻機(jī)的分辨率的計(jì)算。

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答案： 原因：在離子束的傳輸過程中，由于離子與殘余氣體分子的碰撞等原因，離子俘獲電子成中性原子
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