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【簡答題】簡述離子注入的原理?
答案:
離子注入是離子被強電場加速后注入靶中,離子受靶原子阻止,停留其中,經退火后雜質進入替位、電離成為具有電活性的雜質。這一過...
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【簡答題】為什么要引入離子注入技術,離子注入技術有哪些優(yōu)勢?
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【簡答題】影響擴散速率的因素有哪些?
答案:
①晶體內雜質濃度梯度;
②環(huán)境溫度;
③雜質本身結構、性質;
④晶體襯底的結構。
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