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RTP
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快速加熱工藝。是一種升溫速度非常快的,保溫時間很短的熱處理方式。
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結深
答案:
如果擴散雜質(zhì)與硅襯底原有雜質(zhì)的導電類型不同,在兩種雜質(zhì)濃度的相等處會形成PN結,此深度為結深。
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【簡答題】SiO
2
-Si界面中存在幾種電荷?對器件性能有哪些影響?工藝上如何降低它們的密度?
答案:
有5種。Li RB
+
Cs
+
&e...
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