問答題

【簡答題】由外延生長的Grove模型得到外延生長速率與反應(yīng)物濃度成正比,對于以SiCl4為原料的硅外延為什么隨SiCl4濃度的增加會出現(xiàn)負(fù)的生長速率?

答案:

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