名詞解釋

臨界反型

答案：

當(dāng)柵壓接近或等于閾值電壓時空間電荷寬度的微弱改變，并且反型層電荷密度等于摻雜濃度時的情形。
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金屬-半導(dǎo)體功函數(shù)差
答案：

金屬功函數(shù)和電子親合能之差的函數(shù)，用φms表示。
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最大空間電荷區(qū)寬度
答案：

閾值反型時氧化層下面的空間電荷區(qū)寬度。
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