- 搜標(biāo)題
- 搜題干
- 搜選項(xiàng)
問答題
【簡答題】什么是MEMS？它主要包括哪幾個(gè)部分？并簡述各個(gè)部分的功能。
答案：
微電子機(jī)械系統(tǒng)，它是指可批量制作的，集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一...
你可能感興趣的試題
問答題
【簡答題】集成電路技術(shù)發(fā)展的方向有哪些？盡可能描述。
答案：
主要有三個(gè)發(fā)展方向
①器件的特征尺寸繼續(xù)縮小。國外發(fā)達(dá)國家和地區(qū)正在向0.1微米以下階段進(jìn)軍。
②重...
①器件的特征尺寸繼續(xù)縮小。國外發(fā)達(dá)國家和地區(qū)正在向0.1微米以下階段進(jìn)軍。
②重...
問答題
【簡答題】MEMS工藝與微電子工藝技術(shù)有哪些區(qū)別。
答案：
MEMS，即微電子機(jī)械系統(tǒng)，可將機(jī)械構(gòu)件、光學(xué)系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)部件、電控系統(tǒng)集成為一個(gè)整體單元的微型系統(tǒng)。而微電子工藝是包含在...
