名詞解釋

答案：高能離子注入硅片后與靶原子發(fā)生一系列碰撞，可能使靶原子發(fā)生位移，被位移原子還可能把能量依次傳給其它原子，結(jié)果產(chǎn)生一系列的...

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答案：位移原子稱為反沖原子。與入射離子碰撞而發(fā)生位移的原子，稱為第一級反沖原子，與第一級反沖原子碰撞而位移的原子，稱為第二級反...

答案：

又稱光致抗蝕劑，由感光樹脂、增感劑和溶劑三種主要成分組成的對光敏感的混合液體。

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