名詞解釋

答案：擴散前在硅片表面先淀積一層雜質(zhì)，在整個過程中，這層雜質(zhì)作為擴散源，不再有新源補充，雜質(zhì)總量不再變化。這種類型的擴散稱為有...

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答案：由于光刻膠無法承受高溫過程，擴散的掩膜都是二氧化硅或氮化硅。當原子擴散進入硅片，它們向各個方向運動：假如雜質(zhì)原子沿硅片表...

答案：

離子從進入靶到停止為止走過的總距離。

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